即使是純水也還是含有科學實驗所不能忍受的雜質，包含了微量鈣鎂鈉鉀銅鐵汞錳鉛鋅錫鋁、揮發性有機物VOC，以及空氣中微量的落塵和微生物等等，因此我們必須再一次的純化他，這等級我們稱之為超純水，雖然這些成分僅有 ppb的層級。
製造超純水的核心標準包含有核子級樹脂、 UF濾心、紫外線殺菌器、無菌輸送管材 (件)等等，水質還必須進一步以導電度或電阻率高低來衡量純淨度，導電度愈低表示帶電物質越少，可表示水質越佳。導電度的單位通常以uS/cm，電阻率以MΩ.cm來表示，一般來說超純水的純淨程度到了18.2MΩ.cm已是極限。導電度是測試水中其電流大小，電流大小與水中陰陽離子濃度成正比關係，離子愈少電流就愈小。
「μS/cm」這個單位與常用的「MΩ.cm」是互為倒數關係。
製造超純水的核心標準包含有核子級樹脂、 UF濾心、紫外線殺菌器、無菌輸送管材 (件)等等，水質還必須進一步以導電度或電阻率高低來衡量純淨度，導電度愈低表示帶電物質越少，可表示水質越佳。導電度的單位通常以uS/cm，電阻率以MΩ.cm來表示，一般來說超純水的純淨程度到了18.2MΩ.cm已是極限。導電度是測試水中其電流大小，電流大小與水中陰陽離子濃度成正比關係，離子愈少電流就愈小。
「μS/cm」這個單位與常用的「MΩ.cm」是互為倒數關係。